萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備順利完成出廠驗(yàn)收工作
半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要經(jīng)過(guò)8個(gè)主要工序。超純水主要用于半導(dǎo)體制造中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切割晶圓并用超純水清洗殘余碎片?;蛘撸陔x子注入過(guò)程之后,清潔殘余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切割。
超純水是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精細(xì)工藝處理半導(dǎo)體時(shí),如果在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致誤差。因此,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以確保清潔度并提高半導(dǎo)體生產(chǎn)率(輸出)。
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)格。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)格的水質(zhì)要求。目前,我國(guó)常用的超純水標(biāo)準(zhǔn)有國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過(guò)量會(huì)使n型硅反轉(zhuǎn),從而影響電子和空穴的濃度。因此,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。如果硼離子含量能夠達(dá)到較低的指標(biāo),則必然會(huì)提高半導(dǎo)體的性能。
Huncotte系統(tǒng)選用核級(jí)樹(shù)脂,可通過(guò)獨(dú)特的靶向離子交換樹(shù)脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測(cè)硼離子含量,并對(duì)硼離子流出物進(jìn)行分析≤ 0.005μG/L遠(yuǎn)低于美標(biāo)E1.3中要求的硼離子含量。
今日,萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備已出廠驗(yàn)收。萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備解決了空間限制,安裝方便、體積小、操作簡(jiǎn)單。
目前,在水資源緊缺的情況下,加強(qiáng)海水淡化的國(guó)產(chǎn)化技術(shù)研發(fā),在水資源再利用方面,推廣海水淡化設(shè)備顯得尤為重要,并且現(xiàn)代海水淡化設(shè)備也漸漸步入了現(xiàn)代這個(gè)快速發(fā)展的時(shí)代,其有效性和可靠性也越來(lái)越被人們所認(rèn)可。
集裝箱式海水淡化設(shè)備的優(yōu)勢(shì)如何?
1、集裝箱式海水淡化設(shè)備采用反滲透分離技術(shù)進(jìn)行海水淡化脫鹽,工藝流程和操作參數(shù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。
2、海水淡化脫鹽工藝無(wú)需海水加溫,運(yùn)行于常溫下,無(wú)相變現(xiàn)象,因此能耗低,制水成本低。
3、設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮船舶的特殊性,體積小,重量輕,占用省、安裝方便、適應(yīng)性強(qiáng),可在狹小的艙室內(nèi)安裝。機(jī)架管路、管件采用316不銹鋼及耐蝕材料制作。
4、集裝箱式海水淡化設(shè)備操作簡(jiǎn)單,維修方便,只要有電、有海水,啟動(dòng)后就能立即提供淡水。
萊特萊德集裝箱式海水淡化設(shè)備采用超濾膜裝置對(duì)海水進(jìn)行預(yù)處理,然后把含有鹽類的海水通過(guò)反滲透裝置加壓,除去海水中所含鹽、菌等有機(jī)物質(zhì),并進(jìn)行殺菌處理。同時(shí)也能緩解偏遠(yuǎn)地區(qū)居民對(duì)飲用水的需求。
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